什么是AOI? ? 為什么要引入AOI? ? AOI的三個發(fā)展階段 ? AOI的作業(yè)原理 ? AOI的制程方位 ? AOI評價的三要素 ? AOI優(yōu)缺陷?
什么是AOI?
AOI 是英文 Automatic Optical Inspector 的簡寫, 中文名為自動光學(xué)檢測儀 。
為什么要引入AOI?
眾所周知,隨著 LED產(chǎn)品越來越精細、功率要求越來越高,人工目檢明顯已
經(jīng)習(xí)慣不了現(xiàn)代化工業(yè)要求,曾有研討標(biāo)明:當(dāng)兩個人檢測相同的產(chǎn)品四次 時,他們彼此的認同率只要 50%,信任自己判別的只要 40%。且人簡單疲憊 和受心情影響,相同的產(chǎn)品周一的檢測作用和周六的檢測作用差異截然不同 ,白天和晚上的差異又不各有差異,愛情階段和失戀階段的成果也截然不同 。相關(guān)于人工目檢來說:AOI具有更高的安穩(wěn)性、可重復(fù)性和更高的精準(zhǔn)度 。而且一個一般 10人的查看崗位運用 AOI 后一個人就可以完結(jié)檢測作業(yè), 更重要的是,AOI 可以生成一系列的測驗數(shù)據(jù)反饋給工藝工程師,做到防備 于未然,及時發(fā)現(xiàn)前段制程呈現(xiàn)的反常問題。由此說來運用 AOI 已成為LED 職業(yè)檢測產(chǎn)品外觀的必定發(fā)展趨勢。
AOI的三個發(fā)展階段:
從國內(nèi)SMT引入第一臺 AOI 到國內(nèi)自主研制出產(chǎn) AOI 再到現(xiàn)在的 AOI 市場群雄逐鹿的現(xiàn)狀, AOI 閱歷了三個發(fā)展階段:
一、被迫的接受 AOI作為查看裝置。(對一個新鮮事物的獵奇和認知)
二、被客戶逼迫運用 AOI。(借以質(zhì)量保證設(shè)備取得更多訂單) 三、自動要求運用 AOI。(對外溝通更多,對自身希望更高)
AOI的作業(yè)原理:
基本原理:用光學(xué)手法獲取被測物圖形,一般通過一傳感器(攝像機)
取得檢測物的照明圖象并數(shù)字化,然后以某種辦法進行比較,剖析和 判別,相當(dāng)于將人工目檢自動化,智能化。
AOI檢測分為兩部分:光學(xué)部分和圖畫處理部分。 通過光學(xué)部分取得需求檢測的圖畫;通過圖畫處理部分來剖析、處 理和判別。圖畫處理部分需求很強的軟件支撐,由于各種缺陷需求不同 的計算辦法用電腦進行計算和判別。 人知道物體是通過光線反射回來的量進行判別,反射量多為亮,反 射量少為暗。AOI與人判別原理相同,以灰階值(0~255)來判別瑕疵。 AOI通過LED燈光替代自然光,光學(xué)透鏡和CCD替代人眼,把從光源反射回 來的量與設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)值進行比較、剖析和判別。
現(xiàn)在AOI共有四組光源,分別為同軸光、高環(huán)光、低環(huán)光和背 光,打光作用如下圖所示:
同軸光
高環(huán)光
背光
低環(huán)光
AOI可以檢測到的一些晶粒外觀不良,如下圖所示:
MESA線反常
探針痕跡過大
發(fā)光區(qū)污染
電極刮傷及污染
PN電極色差
多晶
AOI的制程方位
AOI在制程的方位是被安排在點測站和分類站之間,讀取點測數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)檔
后的Mapping圖,經(jīng)AOI掃描檢測后,在輸出的檔案中把外觀不良的晶粒
修改成一致的外觀不良Bin。在分類作業(yè)時,就可以不必再挑揀該Bin的 晶粒,達到把外觀不良晶粒除掉的功用。
AOI評價的三要素:
AOI作為一種檢測設(shè)備,具有萬變不離其宗的三個首要要素:快、準(zhǔn)、穩(wěn)!
一、快,即檢測速度要快。 AOI快速檢測的條件是什么?
AOI的檢測速度分為兩個階段:
1、攝影圖畫;2、處理圖畫; 由于相機的 FOV(視窗)有限,所以就有必要通過移動X\Y渠道來攝影完整 個芯片的圖畫,在X\Y渠道的運動進程傍邊又要考慮載臺什么時候開端移動 、移動到什么位子、什么時候開端攝影,什么時候開端進行圖畫處理和剖析 等 等,也就是說:AOI的檢測速度有必要和諧軟硬件一起作業(yè),這兒就牽涉到 AOI運用什么樣的伺服系統(tǒng)、運用什么樣的相機、運用什么樣的絲桿、其核心算法又是什么?咱們計算 AOI的檢測速度是要從load到unload的整個時刻,而不是單單從 AOI 自身供給的速度作為根據(jù),由于有許多AOI的檢測速度 只記載了攝影時刻,而沒有記載軟體處理剖析時刻,致使咱們受遮蓋。
二、準(zhǔn),即較高的檢出率和較低的誤判率。AOI的精確判別跟軟硬件都有密不可分的聯(lián)系,當(dāng)然最首要的是軟件的核心算法,現(xiàn)在AOI種類繁復(fù),算法也各 不相同,有運用邊際檢測、規(guī)律判別、矢量剖析、模板比較和計算建模等等 ,各有千秋,不能一言結(jié)論孰優(yōu)孰劣,除此之外,硬件的要求也是相對比較 嚴厲的,比如說相機,相機是AOI眼睛,一個好的相機當(dāng)然可以捕捉到優(yōu)質(zhì)的 圖畫,這兒不得不提到一個像素的問題,常常有朋友問AOI的像素是多少,大 家以為像素越高其檢測作用就更好,更精確,其實不然,為什么呢?首先得 理解幾個基本概念:
1、相機像素. 相機像素是指這個相機一共有多少個感光晶片,通常用萬個為單位表示,以 矩陣擺放,百萬像素相機的像素矩陣為W*H=1000*1000。
2、相機分辨率. 相機分辨率,指一個像素表示的實踐物體的大小,用um*um表示,數(shù)值越小 ,分辨率越高。
3、攝影規(guī)模(FOV). FOV是指AOI相機實踐攝影的面積,以毫米×毫米表示。FOV是由像素多少和分 辨率決議的。相同的相機,分辨率越大,它的FOV就越大。例如:1K*1K的相機 ,分辨率為 20um,則它的 FOV=1K*20×1k*20=20mm×20mm,假如用30um的分辨 率,他的FOV=1K*30×1k*30=30mm×30mm。在圖畫中,體現(xiàn)圖畫細節(jié)不是由像 素多少決議的,而是由分辨率決議的。分辨率是由廠商挑選的鏡頭焦距決議的 。假如一家AOI選用 20um分辨率,關(guān)于 1mm*0.5mm的零件,它一共占用像素 1/0.02×0.5/0.02=50×25個像素,假如選用30um的分辨率,表示同一個元件 ,則有1/0.03×0.5/0.03=33×17個像素,明顯20um的分辨率體現(xiàn)圖畫細節(jié)方 面好過 30um的分辨率。 已然像素的多少不決議圖畫的分辨率(清晰度),那么大像素相機有何長處呢 ?答案只要一個:削減攝影次數(shù),進步AOI的測驗速度。一個是一百萬像素, 另一個是三百萬像素,清晰度相同(分辨率均為20um),第一個相機的FOV是 20mm×20mm=400平方mm,第二個相機的FOV是1200平方mm,攝影同一個物體, 假定第一個相機要攝影30個圖畫,第二個相機則只需攝影10個圖畫就可以了。三、穩(wěn),即AOI的重復(fù)安穩(wěn)性??赡茉谶\用中發(fā)作這樣的狀況:一個程序制造完投入測驗后待到關(guān)機后第二天再進行測驗的時候誤判大大上升,甚至有漏測的狀況,這跟AOI的光源、相機有很大聯(lián)系,現(xiàn)在來說:LED燈優(yōu)于白熾燈 和熒光燈、但相同的LED燈管有幾分錢幾毛錢和幾塊錢一個的,每一個燈管的 波長亮度都存在必定的差異,假如一個光源沒有通過嚴厲的燈管挑選,就必 然產(chǎn)生光源預(yù)熱不一致、亮度不一致、波長不一致等要素,從而影響測驗效 果,呈現(xiàn)不安穩(wěn)的狀況。其次是相機的鏡頭,一般的工業(yè)鏡頭簡單受環(huán)境即 溫度的影響,這些都是影響AOI安穩(wěn)的要素。咱們在評價中可以每天重復(fù)測驗相同的芯片10-20次,記載其良率誤差,即可判別AOI的重復(fù)安穩(wěn)性。
AOI優(yōu)缺陷
長處: ? 節(jié)約人力,下降人工成本。 ? 添加出產(chǎn)功率,進步出產(chǎn)產(chǎn)能。 ? 一致檢測標(biāo)準(zhǔn),不因線別不同而有差異。 ? 及時回饋出產(chǎn)問題點。 ? 搜集檢測數(shù)據(jù),供給制程剖析,加強制程能力。
? 進步入庫良率。
缺陷: ? 初期程式規(guī)劃樹立產(chǎn)品檔比較耗時。
? 軟體規(guī)劃還不夠完善,例如:AOI無法清晰差異出電極針痕、刮傷和污染。
? AOI僅僅用來削減目檢的作業(yè)量,還不可以徹底替代人工目檢。